半导体制造中的核心气体有哪些?

   2023-09-23 13:47:43 20
核心提示:安全 生产 施工,用户 安全 用气日常生活种的半导体应用,你知道有哪些吗?前言半导体应用于各种日常设备,如计算机、智能手机、电视;还用于先进技术,如医疗设备、军事系统和许多其他应用。它们是我们日常生活的一部分,我们没有注意到,以为它们遥不可及,其实它们存在于我们每天都使用的设备中。2022年中国大陆连续三年

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日常生活种的半导体应用,你知道有哪些吗?前言半导体应用于各种日常设备,如计算机、智能手机、电视;还用于先进技术,如医疗设备、军事系统和许多其他应用。它们是我们日常生活的一部分,我们没有注意到,以为它们遥不可及,其实它们存在于我们每天都使用的设备中。2022年中国大陆连续三年成为全球半导体设备最大市场半导体行业是一个全球性的巨大行业,每年都在持续增长,这意味着对高纯度气体的需求将随之增长。拥有可靠的高纯度气体供应对于半导体制造至关重要,气体是半导体制造的重要组成部分,因为气体可以产生塑造半导体电气特性所需的化学反应。熟悉半导体制程的人都知道,在整个工艺制造过程中,需要用到百余种气体,今天我们主要聊聊,在半导体制程中,最受欢迎的几种气体,同时将探讨它们在制造过程中的作用。NO.1氮气氮气由于其可用性,是半导体制造过程中各个步骤中使用的核心气体,但它的主要用途是在吹扫阶段。在此阶段,氮气用于冲洗每个通道和管网,以去除机器和工具中的任何氧气、杂质等,从而使它们免受可能出现的污染过程中其他气体、杂质的影响。NO.2氧气氧气是一种氧化剂,因此它对于产生沉积反应至关重要。它用于生长用于工艺中各种元素的氧化硅层,例如扩散掩模。当使用氧气进行半导体制造时,气体必须是超高纯度的,以防止任何杂质影响器件的生产和性能。在蚀刻过程中,氧气也用于去除产生的任何额外材料废料。它也可以用来使任何蚀刻图案永久化。最后,氧气还有助于通过可能改变产品质量的氧化反应中和反应性气体。因此,与氮气类似,氧气也有助于确保不会发生任何污染。NO.3氩气氩气主要用于紫外光刻激光器内的沉积和蚀刻过程,用于在半导体芯片上制作最小的图案。在制造所需的硅晶片期间,氩气用于保护在晶片上形成的硅晶体在高温生长过程中不会与氧和氮发生任何潜在的反应。因为氩气也是一种非常惰性的气体,它用于为金属溅射沉积提供非反应性环境。有时氮的反应性太强,会导致金属氮化物的形成。此外,液态氩与工具一起用于清洁最小、最易碎的芯片。NO.4氢气氢气,由于行业发展对气体提出了更高的需求,氢在半导体制造中的使用可能会增加。特别是在光刻阶段,氢气用于与化学锡反应,产生氢化锡。需要氢化锡,以免它积聚在昂贵的光学元件上。它在沉积过程中用于硅和硅锗的外延沉积,也用于通过退火工艺制备表面。氢气用于创建新的氧化层以修改已经存在的薄膜。这个过程发生在高压和高温环境中,这意味着对流速、温度和压力的控制非常重要。此外,氢也用于掺杂阶段以帮助控制分解,因为用于该过程的气体具有剧毒。如此之多,以至于需要将它们存储在可防止泄漏的设备中。乙硼烷也是掺杂过程中使用的一种化学物质,但由于热不稳定,它会慢慢分解,因此需要氢来帮助稳定它。盖斯帕克在半导体制造中扮演着什么角色呢?由半导体其制造工艺的复杂性,在制造过程的每个阶段使用的气体都需要非常的精准,以正确配置半导体,所以工艺中使用的气体也在不断发展。不管是在传输过程还是使用过程,都需要保证气体的纯度以及它们的稳定性、安全性。那么,这时候就需要盖斯帕克为半导体单位设计并安装整套的特气气路系统工程,作为在整个制造过程中严格控制输送气体的方式,气路系统至关重要。13年来,我们一直在为半导体制造规避生产风险,针对客户气路系统中存在的棘手难题,提供整套、全面的气路系统解决方案,保障气体的纯度,以及提高生产稳定性、安全性。

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